Озон применяется для очистки и пассивации металлических поверхностей при хранении и переработке. Высокая окислительная способность озона позволяет удалять органические загрязнения, углеродсодержащие плёнки и отпечатки, формировать качественные оксидные плёнки и повышать коррозионную стойкость.
Применения охватывают полупроводниковую промышленность, оптику, аэрокосмическую отрасль и металлообработку. Методы включают обработку озоном в газовой фазе с УФ-облучением, погружение в разбавленную озонированную воду и прямую экспозицию газообразному озону.
Очистка металлических поверхностей
Озоновые методы поверхностной обработки используют высокую окислительную способность для достижения нескольких целей: снижение углеродсодержащих загрязнений на поверхностях, подготовка чистых подложек для нанесения тонких плёнок, формирование качественных оксидных плёнок и пассивация металлов для повышения коррозионной стойкости.
Методы включают обработку озоном в газовой фазе с УФ-облучением, погружение в разбавленную озонированную воду и прямую экспозицию газообразному озону. Промышленные применения охватывают очистку полупроводниковых пластин, оптических компонентов, аэрокосмических деталей, удаление органических остатков и отпечатков пальцев.
Пассивация металлов
Озон способствует формированию защитных оксидных плёнок на металлических поверхностях, повышая коррозионную стойкость. В сочетании с УФ озон эффективно удаляет органику и подготавливает поверхности для последующего нанесения покрытий или хранения без коррозии.
Промышленные применения
Озоновая очистка и активация поверхностей с УФ и озоном применяются в полупроводниковом производстве, производстве оптических компонентов, аэрокосмической промышленности и при хранении металлоизделий. Обработка обеспечивает чистые подложки для напыления, удаление органических остатков и подготовку поверхностей к склеиванию или окраске.
Влияние озона на коррозию
Влияние растворённого озона на коррозию металлов и сплавов зависит от состава воды, pH и температуры. В одних условиях озон не оказывает значительного влияния на пассивацию мягкой стали; в других — может повышать коррозию меди и медно-никелевых сплавов. Для промышленного применения важен подбор режимов и состава среды.
Преимущества озоновой обработки металлов
Очистка
Удаление органики, углеродсодержащих плёнок и отпечатков; чистые подложки для напыления.
Пассивация
Защитные оксидные плёнки, повышение коррозионной стойкости.
Отрасли
Полупроводники, оптика, аэрокосмика, металлообработка, хранение.
Режимы
Подбор с учётом влияния на коррозию в конкретной среде.